<説明>
東京ガス株式会社、東京ガスケミカル株式会社、小池酸素工業
株式会社の3社は、半導体・液晶パネル製造におけるドライ
エッチング工程で使用される温室効果ガスの
PFC(パーフルオロカーボン)、とりわけ分解困難なCF4を
ターゲットとして共同開発に取り組み、CF4を極限まで分解す
る燃焼式排ガス処理装置”GUARDIAN-F型"の開発に成功しまし
た。さらに、この”WBW式”は燃焼器の前段に水スクラバーを
導入したことで、エッチングで発生する生成物を燃焼前に取り
除き、長いメンテナンスサイクルと清掃時間の短縮を実現しま
した。
<特徴>
・高温燃焼可能なバーナーと燃焼室
CF4を99%以上分解する高い分解効率
卓越した高温技術
安価なランニングコスト
・優れた粉体処理
前段スクラバー搭載
メンテナンス容易
長いメンテナンスサイクル
・徹底した腐食対策
部位に応じた耐熱・耐食材料・コーティング
・上位装置に合わせたマルチポートに対応
1～3ポート (3ポート以上はご相談ください)
