GUARDIAN - F型 BW式
東京ガス株式会社、東京ガスケミカル株式会社、小池酸素工業株式会社の3社は、
半導体製造工程で使用される温室効果ガ スのPFC(パーフルオロカーボン)をターゲット
として共同開発に取り組み、PFCを究極まで分解する燃焼式排ガス処理装置
"GUARDIAN - F型"の開発に成功しました。
"BW式"は、縦型燃焼器の採用でフットプリントを縮小し、狭小なスペースにも
対応しておりますので、従来のPFC未対応の除害装置との置き換えが容易です。
また、水冷方式の採用により排気風量を縮小しているので、工場の排気設備の
負担を抑えます。
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GUARDIAN - F型 WBW式
東京ガス株式会社、東京ガスケミカル株式会社、小池酸素工業株式会社の
3社は、半導体・液晶パネル製造におけるドライエッチング工程で
使用される温室効果ガスのPFC(パーフルオロカーボン)、とりわけ
分解困難なCF4をターゲットとして共同開発に取り組み、CF4を究極まで
分解する燃焼式排ガス処理装置“GUARDIAN - F型”の開発に成功しました。
さらに、この“WBW式”は燃焼器の前段に水スクラバーを導入したことで、
エッチングで発生する生成物を燃焼前に取り除き、長いメンテナンスサイクル
と清掃時間の短縮を実現しました。
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GUARDIAN - G型
半導体および液晶パネルの製造工程に使用されるさまざまな可燃性ガス、
毒性ガス、PFCガス等を独自の技術と方式で燃焼、分解させる燃焼式排ガス処理装置です。
米国で開発されて以来、20年以上の経験と実績を誇り、日本の半導体産業における
燃焼式除害装置のパイオニアとして、多くのお客様に採用されております。
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OCSERD
半導体・液晶業界で20年以上の実績を誇る“GUARDIAN - G型”の技術を応用し、
太陽電池製造におけるCVD工程の大流量可燃性ガスに対応した燃焼式排ガス処理装置です。
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