<説明>
半導体・液晶業界で20年以上の実績を誇る
“GUARDIAN - G型”の技術を応用し、太陽電池製造における
CVD工程の大流量可燃性ガスに対応した燃焼式排ガス処理
装置です。
<特徴>
・大流量の可燃性ガス処理を実現
・豊富な経験により開発された高性能・低燃費バーナーを搭載
・当社オリジナル横型燃焼室により、短時間のメンテナンスを
実現
・スクレーパの採用により、長いメンテナンスサイクルを実現
・クリーニングガス(NF3)も処理可能
・CVDシステムに合わせたマルチポート仕様も設計可能
<用途>
主な用途
太陽電池製造のCVD等のプロセスガス除害
(半導体・液晶・LED等の排ガス処理にも対応)
<処理対象ガス>
H2，SiH4，PH3，NF3等
