<説明>
東京ガス株式会社、東京ガスケミカル株式会社、小池酸素工業
株式会社の3社は、半導体製造工程で使用される温室効果ガス
のPFC(パーフルオロカー ボン)をターゲットとして共同開発に
取り組み、PFCを究極まで分解する燃焼式排ガス処理装置
"GUARDIAN - F型"の開発に成功しました。
"BW式"は、縦型燃焼器の採用でフットプリントを縮小し、
狭小なスペースにも対応しておりますので、従来のPFC未対応
の除害装置との置き換えが容易です。また、水冷方式の採用に
より排気風量を縮小しているので、工場の排気設備の負担を
抑えます。
<特徴>
・高温燃焼可能なバーナーと燃焼室(特許第4987380号)
PFCガスを99%以上分解する高い分解効率
安価なランニングコスト
・優れた粉体処理
スクレーパー採用
メンテナンス容易
長いメンテナンスサイクル
・すぐれた腐食対策
部位に応じた耐熱・耐食材料・コーティング
・上位装置に合わせたマルチポートに対応
1～3ポート (3ポート以上はご相談ください)
